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中国国家电子级超纯水规格

   已被浏览 9429 次  信息来源:韦特瑞
    

   
 

  电阻率
25℃ MΩ*cm

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L
EW-I ≥18* 2 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5
EW-II ≥15 ** 10 1 1 1 2 2
 
 
≤μg/L
>1μm颗粒
≤个/ml
细菌
≤个/ml
硝酸根
≤g/L
磷酸根≤μg/L 硫酸根≤μg/L TOC
≤μg/L
EW-I 1 0.1 0.01 1 1 1 20
EW-II 1 5 0.1 1 1 1 100

 
注*(95%时间不低于17),**(95%时间不低于13)


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