中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997    已被浏览 7014 次  信息来源:韦特瑞

电阻率 25℃ MΩ*cm 硅 ≤μg/L   铜 ≤μg/L   锌 ≤μg/L   镍 ≤μg/L   钠 ≤μg/L   钾 ≤μg/L   EW-I ≥18* 2 0.2 0.2 0.1 0.5 0.5 EW-II ≥15 ** 10 1 1 1 2 2       氯 ≤μg/L >1μm颗粒 ≤个/ml 细菌 ≤个/ml 硝酸根 ≤g/L 磷酸根≤μg/L 硫酸根≤μg/L TOC ≤μg/L EW-I 1 0.1 0.01 1 1 1 20 EW-II 1 5 0.1 1 1 1 100             注*（95％时间不低于17），**（95％时间不低于13）

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